1.脫脂
粘附在金屬表面的油脂、潤滑劑等蒸氣壓較高,在真空加熱時,自行揮發或分解成水,氫氣和二氧化碳等氣體,并被真空泵抽走,與不同金屬表面產生化學反應,得到無氧化、無腐蝕的非常光潔的表面
2.除氣
金屬在熔煉時,液態金屬要吸收H2、O2、N2、CO等氣體,由于冷卻速度太快,這些氣體留在固體金屬中,生成氣孔及白點等各種冶金缺陷,使材料的電阻、磁導率、硬度、強度、塑性、韌性等性能受到影響,根據氣體在金屬中溶解度,與周圍環境的分壓平方根成正比的關系,分壓越小即真空度越高,越可減少氣體在金屬中的溶解度,釋放出來的氣體被真空泵抽走
3.氧化物分解
金屬表面的氧化膜、銹蝕、氧化物,氫化物在真空加熱時被還原、分解或揮發而消失,使金屬表面光潔。鋼件真空度達0.133~13.3Pa即可達到表面凈化效果,金屬表面凈化后,活性增強,有利于C、N、B等原子吸收,使得化學熱處理速度增快和均勻
4.保護作用
真空熱處理實質上是在極稀薄的氣氛中進行,爐內殘存的微量氣體不足以使被處理的金屬材料產生氧化脫碳,增碳等作用。使金屬材料表面的化學成分和原來表面的光亮度保持不變
5.合金元素的蒸發
各種金屬在不同溫度下有不同蒸氣壓,當真空度提高時,蒸氣壓高的金屬(Mn、Cr)容易蒸發、并污染其它金屬表面,使零件之間,或零件與料筐之間粘結,造成電氣短路,材質改性等缺陷,通常零件在高真空下加熱至800ºC,800ºC以上應通以惰性氣體
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