臥式真空爐的主要用途:
臥式真空爐是真空技術與電爐加熱技術相結合的熱處理設備。應用于冶金、機械、航天、電子、輕工等產業部分。如:半導體芯片燒結及退火處理、永磁合金制造、真空釬焊、真空除氣、金屬材料的無氧化光亮熱處理等工藝。因為設備可提供清潔無雜質的高真空狀態,加熱溫度平均且能夠精確控制,因此工藝前提優勝,可進步工件質量和成品率。
臥式真空爐的技術特點:
工作熱區設置多支熱電偶,通過函數記實儀、溫控儀、計算機顯示和記實熱區的溫度分布。
高精度、多功能入口溫控儀,能自動調節與修改PID參數,可存儲9條控溫曲線,可在線修改。
可實行雙向通信監控,以菜單、圖表、曲線、動態界面等形式顯示相關內容
極限真空度高,冷態下爐體可獲得優于5×10-4Pa的真空度,熱態下可維持在10-3Pa數目級 。
全工位動態模擬顯示,運行操作,直觀明了 。
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